手机干涉仪

S5U-PH激光干涉仪 S5U-PH与G5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足更大的透过波前PV值的测量。其中S5U-PH为低成本版本，采用半导体激光器替代昂贵的进口He-Ne激光器，且不标配气浮平台。 一、仪器规格参数 S5U-PH与G5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足更大的透过波前PV值的测量。其中S5U-PH为低成本版本，采用半导体激光器替代昂贵的进口He-Ne激光器，且不标配气浮平台。 仪器规格参数表 硬件部分： 产品型号 S5U-PH 产品名称 5mm正立式激光干涉仪 测试口径 Φ5mm 辅助对准口径 Φ30mm 标准镜面形精度 λ/20 光源 进口半导体激光器（635nm) 光路切换 辅助观察（Φ30mm大视场）与测试（Φ5mm小视场）模式电控切换 电源 AC220V50HZ 软件部分： 软件名称 移相算法（简称PH） 分析项目 透过波前PV值、平行度Tilt值等 测试重复性 PV：0.01λ RMS:0.003λ 测试允许误差 PV<1λ时 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零场调整为1根条纹） 1λ