保亭黎族苗族自治县三维轮廓仪 蓝海精密

三维轮廓仪移相算法的优化和软件系统的开发 本作品采用重叠平均移相干涉算法，保证了亚纳米量级的测量精度；采用自主开发的软件，完成对PZT相移系统和CCD采集系统的控制，以及检测数据的分析处理；优化软件控制系统，使每次检测时间压缩到10秒钟以内，同时完善的数据评价系统为用户评价产品面形质量提供了方便。

三维轮廓仪采用光路、机械、电路和软件算法的一体化和集成化技术，提高了系统稳定性和抗干扰能力；采用背测式技术，打破了被测件尺寸限制；采用重叠平均移相干涉测量技术，保证了测试精度。本作品实用性强，适用范围广，具有打破国外技术垄断，实现技术创新的特点。

表面三维微观形貌测量意义
在生产中，表面三维微观形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有较直接的影响，而且表面三维评定参数由于能更全面、更真实地反映零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。通过对三维形貌的测量可以比较全面地评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过指导加工、优化加工工艺以加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。

表面三维微观形貌的测量方法非常丰富，通常可分为接触式和非接触式两种，其中以非接触式测量方法为主。
下面介绍其中一种近年来国际上研究比较多的、发展也相对比较成熟的技术：扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌技术。


白光干涉扫描原理


在利用白光干涉测量表面三维形貌的过程中，对于被测表面上某一点来说，为了定位其零光程差位置，必须采用某种扫描方式改变参考镜或者被测表面的位置，以此来获得该点光强变化的离散数据，然后依据白光干涉的典型特征来判别并提取较佳干涉位置。因此称这种方法为扫描白光干涉测量法。


光学系统可采用基本的Michelson式干涉仪结构，只是在参考镜后安装有微驱动装置．而被测表面代替了另一个反射镜。测量时通过计算机控制徽驱动装置的进给带动参考镜的进给，这样被测样本表面的不同高度平面就会逐渐进入干涉区，如果在充足的扫描范围内进给，被测样本表面的整个高度范围都可以通过较佳干涉位置。将每步的干涉图样由图像传感器(CCD摄像头)采集，视频信号通过图像采集卡转换成数字信号并存储于计算机内存中，利用与被测面对应的各像素点相关的干涉数据，基于白光干涉的典型特征，通过采用某种较佳干涉位置识别算法对干涉图样数据进行分析处理，提取出特征点位置（较佳干涉位置J，进而就很容易得到各像素点的相对高度，这样便实现了对三维形貌的测量。
三维轮廓仪


ERT作为三维表面测量与测量业界的不断探索者，提供从微观到航空发动机内腔各部件等不同大小样品的非接触式测量分析。历经数多年的努力，在原有*特技术的基础上，不断积累创新，来保证面对各种应用环境时精确三维测量所需的高灵敏度和稳定性；而这一挑战往往是其他测量技术或测量系统难以克服的。ERT能够提供工业上功能强大新型的图形用户界面。智能便捷的操作架构，直观的可视化工作流和广泛的用户定义的自动化能力的结合，使得用户能够快速有效的收集和分析数据。可自动生成用户需要的的结果报告。这些新特性让先进的表面测量报告与广泛的行业标准相兼容。
ERT测量系统在业界一直以优质服务着称，在性能稳定性上一贯口碑良好。从研究型实验室到生产型车间和半导体无尘间，数以几千计的系统被广泛使用。作为专门为先进质量控制和研发设计的测量仪器，可用于精密加工制造类应用的测量，在手机、汽车、航空航天、太阳能、半导体和医疗器械领域，ERT总有一款适合您应用和与预算的光学测量系统。


ERT先进的表面测量与检测


便携式三维轮廓测量仪
仪器设备的基本技术参数
● 型号:MS100
● XY轴行程：100mm x 100mm
● Z轴行程：100mm
● Z轴量程：4mm(可选配50nm-24mm）
● 光斑直径：8um(可根据光笔不同型号选择，小可小于2um)
● XY轴分辨率：50nm
● XY轴平面度:<2um
● XY轴重复定位精度：0.5um
● Z轴线性度：0.01%F.S
● Z轴分辨率:0.13um(根据不同型号光笔小为14nm)
● XY轴大扫描速度：20mm/s
● 样品可测大倾角：漫反射表面大87度
● 适用范围：任何材质表面，尤其对玻璃、镜面、高光表面均可进行稳定测试
功能与应用
● 产品表面段差、高度、宽度、平面度测量
● 多层透明体厚度测量
● 2D轮廓/3D微观形貌扫描分析
● 2D/3D粗糙度测量
● 可配合产线定制非标自动化检测方案等

三维轮廓仪背测式载物台设计和两种测量模式的开发 在应用光机电算集成化技术的基础上，本作品的载物台采用背测式结构，即载物台位于被测表面与物镜之间，物镜通过载物台通光孔检测样品表面形貌信息。同类仪器采用试件非工作面定位测量方式，这种方式存在重复性差、稳定性低的难题。本作品不仅克服了以上难题，而且打破了对被测样品横向尺寸的限制。采用正置测量模式时，完成小口径元件的检测；采用倒置模式时，完成大口径元件的检测。