三维轮廓仪的主要研究内容及成果包括:使用短相干LED干涉成像技术,提高成像质量;依据干涉条纹对比度变化选定采样区间,减小了系统误差;优化了光机系统结构和电路控制,提高了系统的便携性和稳定性;使用背测式结构,载物台位于物镜和被测面之间,从而对被测面口径无尺寸限制;使用了重叠平均移相干涉测量技术,将干涉测量精度提高到亚纳米量级;开发了一套集PZT移相、CCD采集和面形计算分析于一体的软件,将检测时间压缩到10秒钟以内。
三维轮廓仪
ERT作为三维表面测量与测量业界的不断探索者,提供从微观到航空发动机内腔各部件等不同大小样品的非接触式测量分析。历经数多年的努力,在原有*特技术的基础上,不断积累创新,来保证面对各种应用环境时精确三维测量所需的高灵敏度和稳定性;而这一挑战往往是其他测量技术或测量系统难以克服的。ERT能够提供工业上功能强大新型的图形用户界面。智能便捷的操作架构,直观的可视化工作流和广泛的用户定义的自动化能力的结合,使得用户能够快速有效的收集和分析数据。可自动生成用户需要的的结果报告。这些新特性让先进的表面测量报告与广泛的行业标准相兼容。
ERT测量系统在业界一直以优质服务着称,在性能稳定性上一贯口碑良好。从研究型实验室到生产型车间和半导体无尘间,数以几千计的系统被广泛使用。作为专门为先进质量控制和研发设计的测量仪器,可用于精密加工制造类应用的测量,在手机、汽车、航空航天、太阳能、半导体和医疗器械领域,ERT总有一款适合您应用和与预算的光学测量系统。
ERT先进的表面测量与检测
便携式三维轮廓测量仪
仪器设备的基本技术参数
● 型号:MS100
● XY轴行程:100mm x 100mm
● Z轴行程:100mm
● Z轴量程:4mm(可选配50nm-24mm)
● 光斑直径:8um(可根据光笔不同型号选择,小可小于2um)
● XY轴分辨率:50nm
● XY轴平面度:<2um
● XY轴重复定位精度:0.5um
● Z轴线性度:0.01%F.S
● Z轴分辨率:0.13um(根据不同型号光笔小为14nm)
● XY轴大扫描速度:20mm/s
● 样品可测大倾角:漫反射表面大87度
● 适用范围:任何材质表面,尤其对玻璃、镜面、高光表面均可进行稳定测试
功能与应用
● 产品表面段差、高度、宽度、平面度测量
● 多层透明体厚度测量
● 2D轮廓/3D微观形貌扫描分析
● 2D/3D粗糙度测量
● 可配合产线定制非标自动化检测方案等
三维轮廓测量仪/三维表面形貌仪采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。
技术参数:
垂直测量范围:27mm
垂直分辨率:<2nm
扫描速度:1m/s
横向分辨率:5nm
可视区域:400*600mm
三维非接触式光学轮廓仪技术参数:
垂直测量范围:27mm
垂直分辨率:<2nm
扫描速度:20mm/s
横向分辨率:0.1m
测量范围:150mm×150mm
三维轮廓仪具体研究成果体现在以下几个方面: (1) 短相干光干涉条纹的定位技术 LED短相干光与激光相比具有较短的干涉波列长度,消除了干涉显微系统中难以避免的激光散斑干扰,提高了成像质量。但干涉波列长度的减短导致获取干涉条纹遇到困难,要求被测表面的定位精度必须接近1微米。
三维轮廓仪采用光路、机械、电路和软件算法的一体化和集成化技术,提高了系统稳定性和抗干扰能力;采用背测式技术,打破了被测件尺寸限制;采用重叠平均移相干涉测量技术,保证了测试精度。本作品实用性强,适用范围广,具有打破国外技术垄断,实现技术创新的特点。
三维轮廓仪背测式载物台设计和两种测量模式的开发 在应用光机电算集成化技术的基础上,本作品的载物台采用背测式结构,即载物台位于被测表面与物镜之间,物镜通过载物台通光孔检测样品表面形貌信息。同类仪器采用试件非工作面定位测量方式,这种方式存在重复性差、稳定性低的难题。本作品不仅克服了以上难题,而且打破了对被测样品横向尺寸的限制。采用正置测量模式时,完成小口径元件的检测;采用倒置模式时,完成大口径元件的检测。
产品特性:
1.采用白光轴向色像差技术,可获得纳米级的分辨率
2.测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高
3.尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
4.不受样品反射率的影响
5.不受环境光的影响
6.测量简单,样品*特殊处理
7.Z方向max测量范围为27mm
8.测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)
商品销售的一年中那段时间是较火热的呢?毫无疑问是过年前,试问哪个业务员不想在过年前多销售些产品,哪个厂家不想将仓库清空呢?正是这样,每到过年轮廓仪市场就变的十分火热了,各大商家都在打折搞优惠活动,让客户看到心动不已,东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司提醒各位在购买的同时要注意这些哦。
看准老品牌,越是老的品牌做得就越大,实力自然是*置疑的,而一些小品牌甚至是没有品牌的,大家都买就要多多注意,毕竟一不小心就买到质量不好的轮廓仪,吃亏的还是我们自己。虽然是*品牌了,但是对于价格过低的要提防了,这可能是假货,借助某某品牌的名声销售假货,不在行的朋友很容易就会上当受骗,所以较好到厂家或者是制*的商店购买,较好就是官网啦。
蓝海以拥有数十年精密仪器研发经验的**团队为主导,以各大高校及研究所为依托;凭借高品质、货期短,服务快、性价比高等优势,蓝海产品成为国内外众多**企业的供应商,拥有大量的专业客户;是国内圆柱度仪、圆度仪、轮廓仪等精密仪器的主要生产基地;蓝海产品已进入汽摩配、机械加工、精密轴承、模具、电机、精密五金、刀具、光学、高等教育等行业及航空航天、**、科研院所和计量机构。客户遍及全国20多个省、市、自治区,并向瑞典、泰国、巴西、卡塔尔、伊朗等国家出口;已为国内外数千家客户提供了优质的仪器设备和服务。
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