薄膜电阻这一概念的使用,与电阻或者电阻率相对,是它直接用四终端感应测量法(也称为四点探针测量法)来测量。薄膜电阻用欧姆/平方来计量,可被应用于将薄膜考虑为一个二维实体的二维系统。它与三维系统下所用的电阻率的概念对等。当使用到薄膜电阻一词的时候,电流必须沿着薄膜平面流动,而非与其垂直。
电材料分类
目前,制作电阻薄膜的材料有许多,包括纯金属、金属合金、金属化合物或金属陶瓷(陶瓷和金属的组合)等,但单片模拟集成电路和薄膜混合电路中广泛使用的材料有三种:镍铬、铬硅和铬硅氧化物金属陶瓷,其中镍铬属于低阻类材料,而铬硅和铬氧化硅属于高阻类材料。按照组成材料的不同,常用薄膜类电阻材料分为三种,镍铬、铬硅和铬一氧化硅
电阻介绍:
近年来,随着电子信息技术的快速发展,A/D、D/A 转换电路及其它线性或非线性电路的发展日新月异,其中以薄膜电阻网络为核心的高精度运算放大器和高精度的 A/D、D/A 转换电路是必不可少的。为了提高ADC和 DAC 的精度和分辨率,薄膜电阻的性能也必须有相应的提高。
DAC 和ADC 精度和分辨率的高低主要取决于器件内部的电阻网络,DAC 和ADC 转换器件一般多选用R-2R 梯形电阻网络。电阻网络性能的分析研究和制作,一直是模拟器件研制和生产的关键技术。高精密薄膜电阻由于具有高电阻率、低电阻温度系数、高稳定性、无寄生效应和低噪音等优良特性,在航空、电子计算机、通讯仪器、电子交换机等高新领域有了越来越广泛的应用
薄膜电阻的应用:
薄膜电阻的应用广泛,对于任意面积远大于厚度的情形,比如薄膜物理或者半导体产业中,常有纳米级厚度的薄膜被沉积到晶片上,如果关心这些薄膜的电阻阻值大小时,就需使用薄膜电阻这一概念。例如,在发光二极管的制造中,二极管PN结上作为电极而沉积的金属的阻值很大程度影响了发光二极管的发光效率,因此需要小化金属半导体的79483MD,利用前面提到的四探针测量法以及传输线模型(TransmissiON Line Model)测量法,即可确定79483MD的大小和金属下方半导体层的薄膜电阻阻值。