常州急需多段控温管式炉定制

PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体，真空系统，质子流量供气系统，射频等离子源，石英反应腔室等部件组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
系统选型
项 目 推荐选型
管式加热炉体
石英反应腔室 根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40，Φ60，Φ80，Φ100，Φ120，Φ150等规格可选。
真空系统 根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1（极限真空0.1Pa），GZK10-3（极限真空0.001Pa），以及进口高真空机组（极限真空0.0001Pa）供选择。
质子流量供气系统 根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z，三路GQ-2Z，四路GQ-2Z，五路GQ-2Z或更多路供选择。
射频等离子源 根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300（300W），DLZ500（500W）或更大功率的射频电源供选择。
常见PECVD系统组合 1. 1200度60滑轨式微型管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，300W射频电源
MXG1200-60S-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ300
2. 1200度60滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
MXG1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500
3. 1200度60双温区滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
MXG1200-60II-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500
4. 1200度60三温区滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
MXG1200-60III-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500
5. 1200度60微型预热炉，1200度60滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
MXG1200-60S，MXG1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500

燃气导热油炉
燃气导热油炉的原理是是以重油.轻油或可燃液体为燃料.导热油为热载体.利用循环油泵强制液相循环.将热能输送给用热设备后.继而返回重新加热的直流式特种工业炉.可用于 ≤ 350oC 焙烘、蒸化、定型、溶融、干燥 。

风道加热器
风道加热器是适用于风道中的空气加热，规格分低温、中温、高温三种形式，在结构上的共同之处是采用了用钢板支撑电热管以减少风机停止时电热管的振动，在接线盒中都装有**温控制装置。
另在控制方面除装有**温保护外，还在风机与加热器之间加装联运装置，以确保电加热器起动必须在风机起动之后，在加热器前后加一差压装置，以防风机故障；低温型可直接安装在风道上，而中温型、高温型由于结构上的不同，在通道外壁至加热器接线盒夹有100mm 厚的保温材料，这主要是减少整个通道的对外散热和接线腔内的温度，通道加热器加热的气体压力一般不应**过0.3Kg/cm2，如需**过以上压力，请选用循环式电加热器；低温型加热器气体加热温度不**过160℃；中温型不**过260℃；高温型不**过500℃。
风道式电加热器用于工业风道、空调风道与各行业空气通过对空气的加热，提高输出空气的温度，一般在风道横向开口插入。根据风道工作温度分低温、中温和高温;根据风道内风速分低风速、中风速和高风速。
（本产品可以更具客户要求定做，提供图纸，电压，功率，尺寸）

烘箱（无尘烘箱）
无尘烘箱也称无尘工业烘箱、洁净工业烘箱。是一种提供高温净化环境的特殊洁净无尘烘干设备。箱内空气封闭自循环，经耐高温高效空气过滤器（100级）反复过滤，使烘箱工作室内处于无尘状态。无尘烘箱工作室为不锈钢结构。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有**温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。
特点
1. 全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
2. 耐高温，在工作场地洁净等级达到class1000#前提下，实验室内能有效过滤微尘而达到洁净等级class100#；
3. 叠成组合式，减少场地占用面积，效率高。
用途
无尘工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。