海门真空规 探头 390 Micro-Ion ATM

昆山熙日机械设备有限公司

SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar 过程测量仪
INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀超纯陶瓷传感器提供优异的零位稳定性（包括气压突变的情况），预期使用寿命长达数百万次压力循环。独有的传感器屏蔽（专利申请中）可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。
特点
压力测量范围从10-10托到10-2托
单独校准的仪表提供10%的精度
模拟输出和RS-485通信
用于过程控制的两个设定值继电器
USB接口的设置和诊断

特点
线缆连接和真空计调整可以方便地定位，因而需要很小的空间
传感器管可以加热到 150℃
设定点可以调整，便于制程控制和互锁
可以进行远程校准
已获 CSA C/US 批准
线性输出 - 每十进制 1 伏特，便于与真空控制系统连接
LED 状态指示灯显示正常和故障状态
可根据需要提供非标准法兰接头。

VGC501 系列真空计控制器可与各种 INFICON 真空计一起使用，能够监测 10⁻¹⁰ 至1500 mbar（10⁻¹⁰ 至 1125 Torr）的完整真空压力范围和设定点状态并记录相关数据。

Granville-Phillips 385 Convectorn ATM模块是一个真空计，该直空计将压阻式隔膜与经过验证的Convectron传感器相结，提供从低真空到大气压力范围内的连续测量，并且相对压力测量可以在所设定的压力点由设定点继电器激活开始工作。
VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼
应用实例
塑料元件经常被加以金属镀膜，这抑或出于美观考虑，抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。
挑战
金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行，此时需要连续地监控真空状态，以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵超负荷，例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等，旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被监控。
解决方案
用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处监控分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
前级真空控制
真空系统中的安全开关