保山真空计 靖江真空计 M-350PG

昆山熙日机械设备有限公司

BAG052 和 BAG053 属于电阻式脱气 (I2R) 玻璃封装电离真空计，能够测量低至 4 × 10-10 Torr 的压力。
特点
从高真空到大气压的连续压力测量
大气压端的精密的相对压力测量
不需要单独的大气压力检测开关
不需要三种不同的传感器
双电离规灯丝延长了设备的无故障运行时间
自动点亮和关闭电离规
可选远程控制设**输出继电器
现在可更换规管组件
模拟量、RS-485或DeviceNet输出可供选择
可选LCD文本显示器

微处理器信号处理允许在皮拉尼和磁控管输出以及线性输出之间无缝转换（记录压力刻度）
D 型接口包括电缆应变消除和增强的灰尘防护 - IP44
低磁场型 (SL) 适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜
可轻松编程的设**涵盖整个测量范围
磁控管使用先进的**技术进行高度可靠的放电，即使在高真空或相对污染的环境下也无妨
自动为皮拉尼真空计元件进行真空设置
单一按钮大气设置

Conevctron热损失传感器提供从1X10-4托至大气压力跨越7个数量级的真空压力测量。膜片传感器技术测量真空空间内部和外部环境之间的差压，并在到达所设定的压差值时由设**继电器激活开始工作。

应用
适用于处于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范围内的所有需要可靠稳定的压力指示的真空应用。
典型制程包括：
一般真空到工业镀膜机
真空炉
科学仪器
半导体等各种应用。
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够监控镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来监控小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的监控之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉