Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar
INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节,另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温,并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中小的真空测量仪器。
特点
在 10 mbar 以上压力下不受气体类型影响,在大气压力下具有高度的准确性和再现性,能够进行可靠、快速的大气压力检测,可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器装置用于高腐蚀性应用,易于更换的即插即用式传感器与板载校准数据
INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.独特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。
应用
ATC热电偶真空计十分适合于需要使用简单可靠的真空计来测量更高压力的情况。
应用
任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。
对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言, WRG 成为一种明智的选择。
WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是,如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间非常多,Edwards 建议采用独立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计,因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。
VSP841/842 1000…100到1 x 10-3 mbar 被动式皮拉尼
应用实例
液化气储罐的真空绝缘可以保护液化气免受环境温度的影响。真空密封外壳有效隔绝了储罐和外部环境之间的热传导。
挑战
为确空绝缘的正确工作以及能够及时发现气罐或外壳中的气体泄漏,需要定期检测绝缘层中的真空状态。真空绝缘的失败将引发升温升压的一系列风险。
解决方案
使用搭载可拆卸传感器VSP842的VD84真空计可以便捷而快速地检查液化气罐的真空绝缘状态。每个气罐装配一个独立的传感器固定在绝缘封装装置内。真空计定期与这些真空规连接,以便检测真空的状态。
应用领域
服务与维护
低真空泵的检测
真空干燥
真空离心机
冷却冷冻技术