GSC300气瓶称重系统是一种集中供气系统,应用于半导体制造工艺和设备,称重范围0-30000kg,输出精度高,是半导体行业的首选。
GSC300气柜秤具有耐腐蚀气体,省力超低平台,减少因不平整的地方而残留或重复工作的风险,气罐变送器有多个量程
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上海隽创产品覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、新材料、新能源、光纤、精细化工、生物医药、各类实验室、研究所、高校院校、标准检测等高技术领域行业。为客户提供高纯介质输送系统计量全套解决方案,逐步成为国内的系统供应商。
GSC300气柜秤为半导体工业特种气体计量应用主要包括:硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷,三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷,氯气、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷二氧化碳、氨、氧化亚氮,六氟化钨、三甲基镓等。
GSC气瓶秤采用安全设计,所选用的材料适用于各种不同性质的气体,美观,紧凑,安全,质优价廉,可按照客户要求定制。
在半导体产业的刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积和黄光工艺等关键制程环节都需要使用各高纯气体。在超高纯气体输送系统的设计中都使用GSC300气柜秤精确解决圆柱体气罐测量.