用于电镀行业 咸宁台式镀层厚度测厚仪 金属厚度膜厚仪

XRF分析中的术语
1.精密度
定义为同一样品多次测定的平均值m和各次测定值mi之差。换句话说，精密度就是重现性（Reproducibility或Repeatability）。X荧光分析 的精度是和测量的时间有关的，测量的时间越长，则精度越高。 
2.重复性
定义为仪器测同一款样品的连续测试十一次或二十一次的相对标准偏差。
3.准确度
定义为各次测定值mi对于真值（t）的偏差。因而，若精密度差，准确度也一定差。反之，准确度很差，精密度确有时很高。这是因为有时可能有系统误差的存在。要想可靠性（Reliability）好，精密度和准确度都要求高。
4. 误差
X荧光分析的误差往往是很难计算的，所以，通常情况下，把统计涨落引起的误差作为测量的误差。
5.检出限（Limit of detection）
   当获得背景强度标准偏差三倍以上的峰值强度时的元素含量，就称为检出限（或叫检出限）。这时候，测到的含量的置信度（可信的程度）是99.87％.测定检出，一般要用含量比较低的样品来测量。检出限因所用试样（基体）的不同而不同。
6.计数统计误差
  物质的测量中，假设仪器稳定性、机械在现性可确保，由仪器机械产生的误差可以忽略不计，但计数统计误差还是不能消除。X射线强度是把入射到计数器上的光子变成脉冲后计数而得到的。因而计数值在本质上具有统计误差。 被测X射线的计数值（N）的分布属于随机事件，其标准偏差由 N求出。 N就叫统计误差。时间越长，则相对偏差就越小，即精度就越高。
X射线荧光法镀层测量标准
国标GB/T 16921-2005/ISO 3497：2000
金属覆盖层 覆盖层厚度测量X射线光谱方法
美国标准A754/A754M-08
Coating Weight（mass）of Metallic Coatings on steel by X-Ray Fluorescence

X光射线法原理
X射线射到电镀层表面，产生X射线荧光，根据荧光谱线元素能量位置及其强度确定镀层组成及厚度。
应用特点：，测量镀层范围广，适合细微面积及**薄镀层的测量。

开放式样品腔。
精密二维移动样品平台，探测器和X光管上下可动，实现三维移动。
双激光定位装置。
铅玻璃屏蔽罩。
Si-Pin探测器。
信号检测电子电路。
高低压电源。
X光管。
高度传感器
保护传感器
计算机及喷墨打印机

性能优势
精密的三维移动平台
的样品观测系统
的图像识别 
轻松实现深槽样品的检测
四种微孔聚焦准直器，自动切换
双重保护措施，实现无缝防撞
采用大面积高分辨率探测器，有效降低检出限，提高测试精度
全自动智能控制方式，一键式操作!
开机自动退出自检、复位 
开盖自动退出样品台，升起Z轴测试平台，方便放样 
关盖推进样品台，下降Z轴测试平台并自动完成对焦 
直接点击全景或局部景图像选取测试点 
点击软件界面测试按钮，自动完成测试并显示测试结果
技术指标
分析元素范围：从硫（S）到铀（U） 
同时检测元素：多24个元素，多达五层镀层
检出限：可达2ppm，薄可测试0.005μm
分析含量：一般为2ppm到99.9% 
镀层厚度：一般在50μm以内（每种材料有所不同）重复性：可达0.1%
稳定性：可达0.1%
SDD探测器：分辨率低至135eV
采用的微孔准直技术，小孔径达0.1mm，小光斑达0.1mm
样品观察：配备全景和局部两个工业高清摄像头
准直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与 
Ф0.3mm四种准直器组合
仪器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm
样品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm
样品台尺寸：393(W)x 258 (D）mm
X/Y/Z平台移动速度：额定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平台重复定位精度 ：小于0.1um
操作环境湿度：≤90%
操作环境温度 15℃～30℃
本款XRF仪器使用注意事项
开启仪器电源开关时，动作要慢、不可用力过猛、以免损坏按键。
向样品腔放置样品时，要注意样品的洁净，不可使尘粒掉入其中，否则会污染X光管和探测器窗口，造成测量失准和探头损坏；同时，还要注意轻拿轻放（使用镊子等器具取放样品），以免测量窗口的薄膜被破坏。
样品盖需要经常用酒精棉球清洁。
每次开机后，仪器都必须先预热30分钟，然后进行初始化，方可进行正常的检测工作。
测量不同类型的样品时，需从程序栏中选择其对应的选项，才能保证的测量效果。
为使仪器能长期保持工作正常，需定期对仪器的各项参数进行测试，并进行调整。