产品用途:
M系列是高端机型,其光斑尺寸仅为15μm(FWHM),100倍放大相机用于观察样品上的细微特征;同时
配有低倍数相机,用于观察样品的宏观成像。
性能优势:
1.可完成镀层厚度测量、元素分析、电镀液分析;
2.较多同时测量5层(4层镀层+底材),每层可同时分析10种元素;
3.成分测量可同时分析25种元素;
4.元素范围从铝(13)到铀(92);
5.厚度范围从低至1nm(纳米)到**过100μm(微米);
6.符合ISO3497、ASTM B568标准测试方法;
7.满足IPC-4552A标准。
Specitications规格参数 | ||||||
X射线管 | 50W钼靶射线管 15μm毛细管光学结构 | 分析能力 | 5层(4层+基材)每层分析10种元素,成分分析较多可同时分析25种元素 | |||
探测器 | 135eV分辨率的硅漂移探测器 | |||||
焦距 | 固定焦距(0.05″) | 滤波器 | 4位置滤器 | |||
视频放大倍率 | 100X | 微观摄像头 | 数字脉冲处理 | 4096多通道数字处理器 | ||
2X | 宏观摄像头 | 逃逸峰校正 | ||||
重量 | 70kg | 相机 | 1/4″CMO280*720 VGA分辨率 | |||
可编程XY平台 | 尺寸 | 425mm(17″)*400mm(16″) | 电源 | 150W,100~240V;频率范围为47Hz到63Hz | ||
行程 | 165mm(6.5″)*165mm(6.5″) 高精度 | 尺寸(高*宽*深) | 样品仓 | 140mm(5.5″)*305mm(12″)*330mm(13″) | ||
元素测量范围 | 13号铝元素到92号铀元素 | 外形 | 500mm(20″)*450mm(18″)*600mm(24″) | |||
处理器 | 英特尔,酷睿i5 3470处理器 (3.2GHz),8GB DDR3内存,Windows 10,64位 | |||||
工作环境 | 温度介于20℃与25℃之间,相对湿度小于98%,无冷凝 |