美国FilmTek3000系列薄膜性能测量仪

FilmTek 3000薄膜性能测量仪

应用领域

半导体、微电子、MEMS、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科学研究、物理、化学、生物、医药等

测量材料

半导体、介电材料、**高分子聚合物、金属氧化物、金属钝化膜、自组装单分子层、多层膜物质和石墨烯等

1)Film Wizard™ 软件 : 市面上功能大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。

2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求.
1.多层厚度（1Å 到 250 microns）
2.折射率n
3.吸收系数k
4.双折射率
5.能隙（Eg）
6.表面粗糙度和损伤
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）
8.薄膜温度特性
9.晶元曲率和薄膜耐压性

技术参数
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns
2. 重复性：± 0°（△）
3. 折射率精度：± 2*10-5
4. 光谱范围:380nm~1000nm（190nm~1700nm可选）
5. 入射角:0°（70°可选）
6. 测试速度：小于 15 s
7. 光斑直径：    小于 50 nm