产品规格及参数
型号/规格参数 | SMU-4030EA(2.5D) | |
工 作 台 | X/Y轴行程 | 400mm ╳ 300mm |
Z轴行程 | 调焦行程200mm,工作距离90mm | |
大理石 台面尺寸 | 460mm ╳ 560mm | |
玻璃台面尺寸 | 450mm ╳ 350mm | |
传动型式 | X/Y轴:采用高精度交叉传动导轨+丝杆; Z轴:采用直线导轨,精密丝杆; 进口轴承 | |
光学尺分辨率(mm) | X/Y/Z轴:0.001 | |
测量线性精度(μm) | ≤3+L/200 | |
重复性精度(μm) | ≤3 | |
驱动电机 | 高性能CNC伺服系统 | |
摄像机 | 1/3″高清彩色工业相机 | |
测量软件 | *软件,编程操作简单,易上手 (测量数据可按客户报表格式导出或导入QMS系统) | |
镜头 | 全自动变倍镜头 光学放大倍率0.7-4.5X 影像放大倍率20-128X | |
可选配 | 同轴光、探针、镭射 | |
0.5X物镜、2X物镜 | ||
光源系统 | 表面光源:为三环八区LED冷光源、寿命长、亮度可分区调节 | |
底光源:LED白色冷光源、寿命长、亮度可调 | ||
仪器外形尺寸(L*W*H) | 850mm ╳ 620mm ╳ 1650mm | |
仪器重量 | 200kg |