C L 5 0 赛卡司CL50双频激光干涉仪,创新技术和成熟工艺相结合、可溯源、 高可靠、高精度激光测试系统。 赛卡司CL50双频激光干涉仪技术采用直接输出线偏振光双频激光器, 无圆偏振光转线偏振非线性误差,无圆偏振光转线偏振光非线性误 差,频差大,功率高,CL50激光干涉仪卓越的性能和稳定性受到一致好评 和肯定。 双频激光测量系统与单频激光测量系统相比,拥有更强的抗干扰性和 更好的重复性。双频激光测试系统自面世以来,一直代表着长度测试 的水准,其稳定的重复性和高精度得到业界公认,主要用于精度 要求极高的芯片光刻机、各种计量检测和高端机床装备制造领域采用直接输出正交线偏振光,无圆偏振光转线偏振光非线性误差。 大频差,高测速,频差大于6MHz±1MHz,测量速度可达2m/s 大功率,功率>0.5mW,测量距离远,可同时测量更多轴(多轴测量系统)。 小体积便携式设计,人性化操作结构,方便易用。 售后**及时、可靠。
双频激光干涉仪使用双频激光,测量信号中的频差(f1-f2)与目标移动与否无关,即使运动目标静止,这个 差值仍然存在。这就是说“双频”起了载波作用,被测件的移动只是使这个频差增加或减小,即产生了调 频。这样,就可以采用倍数较高的交流放大器来放大信号,即使在光强衰减90%的情况下,干涉仪也能照常 工作。 在单频干涉仪中,当运动目标静止时,Δf=0,前置放大器只能采用直流放大器,放大倍数受到限制。这是 双频干涉仪与单频干涉仪的一个重要差别