干涉仪球面标准镜头

乾曜光学提供普通精度的球面标准镜和**精密球面标准镜，有效口径有150mm（6英寸），100mm （4英寸）， 60mm，30mm。150mm和100mm口径镜头与Zygo通用，60mm和30mm口径镜头与富士通用。
**精密球面标准镜为代理国外产品，精度达PV<λ/40（λ=632.8nm）。精度测试文件储存为Zygo干涉仪的标准数 据格式，在Zygo干涉仪的数据中能够移除标准球面的误差，以达到**测量。
选配要点：
待测球面的R/D(曲率半径与口径的比值)应当大于球面镜头的F数，才能实现全口径测量；建议选取F数较接近(略 小于)被测面R/D值的球面镜头。
凸面曲率半径与口径的测量范围受限于镜头标准面的曲率半径与有效通光口径；凹面的测量范围受限于测试腔的 长度(也即是仪器导轨的有效移动距离)与宽度(也即是载物台的横向尺寸)。
 

注： 
1、 QY-150-XX系列镜头适用于G150系列干涉仪；QY-100-XX系列镜头适用于G100系列干涉仪；QY-60-XX系列镜头适用于G60系列干涉仪；QY-30-XX系列镜头适用于G30系列干涉仪。
2、测量凸面较大曲率指与镜头标准面贴合时的被测曲率。
3、表中（）内数据为使用特殊夹具时,对应G150D,G100D,G60D和G30D时的数据。 
4、可检查较小口径以及较小曲率半径根据被检物的形状而异。